四探針電阻率/方阻測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率，以及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份測試架及四探針頭組成。本儀器的特點是主機配置雙數字表，在測量電阻率的同時，另一塊數字表(以萬分之幾的精度)適時監測全程的電流變化，免除了測量電流/測量電阻率的轉換，更及時掌控測量電流。主機還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩定。本機配有恒流源開關，在測量某些箔層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生，更好地保護箔膜。儀器配置了本公司的產品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。

    四探針電阻率測試儀如加配HQ-710E數據處理器，測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均。給測量帶來很大方便。

四探針電阻率測試儀技術參數：

(1)測量范圍：  

可測電阻率：0.0001～19000Ω•cm  

可測方塊電阻：0.001～1900Ω•□  

(2)恒流源：  

輸出電流：DC0.001～100mA五檔連續可調  

量程：0.001～0.01mA  

0.01～0.10mA  

0.10～1.0mA  

1.0～10mA  

10～100mA  

恒流精度：各檔均低于±0.05%  

(3)直流數字電壓表：  

測量范圍：0～199.99mV  

靈敏度：10μV  

基本誤差：±(0.004%讀數+0.01%滿度)  

輸出電源：≥1000ΩM